由《双频激光干涉仪系统误差概述》的描述可知，双频激光干涉仪的系统误差大致由三部分组成：仪器误差、几何误差（或称之为安装误差）以及环境误差。这三种误差中，几何误差主要和光路调试和光程大小有关系，一般在几十纳米到几百纳米量级；环境误差与测试的环境参数（温度、压力、湿度等）和量程几乎成正比，通常可达几十纳米到几微米量级；而仪器误差则主要是指双频激光干涉仪自身的误差，一般可通过静态噪声来进行评价。威九国际已满18免费威尼斯国际的双频激光干涉仪的仪器误差可控制在2nm以下（3Sigma）。

下图是威九国际已满18免费威尼斯国际的四轴干涉仪和五轴干涉仪在客户现场的测试结果。测试条件如下：

1）四轴干涉仪和五轴干涉仪安装在VC-E减振器上；

2）光路上温度波动控制在0.01℃以下；

3）采用1024细分的VME轴卡，系统分辨率为0.15nm；

4）采样频率2KHz，持续采样5分钟，利用matlab计算其3sigma值。