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光纤差分干涉仪

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光纤单轴差分干涉仪(Fiber Differential Interferometer的被测对象为两个平面反射镜,主要用于测量两个反射镜的相对运动位移。

与光纤单轴平镜干涉仪相比,光纤单轴差分干涉仪可以测量两个物体的相对位置,并能抵消大部分环境误差、波长误差和热漂移误差,进而提高测量精度。

司的光纤单轴差分干涉仪与雷尼绍的RLD10 DI差分干涉仪接口兼容


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