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二维PSD传感器

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        本司开发的二维PSD传感器,采用二维PSD和角锥镜相结合进行位移测量。利用了角锥镜的出射光与入射光互相平行的特性,因此理论上测量结果是线性的,且光学上可分辨率倍增,结构简单,可进行二维位移进行测量。如果采用三组或者更多组二维PSD传感器,可实现六自由度位移测量。该方法具有原理简单、结构简洁、成本低、线性度好等优点。

        本司开发的二维PSD传感器,将入光光纤、准直器、二维PSD等集成在一起,使用方便。主要性能如下:


需求指标

参数

测量稳定性

X/um@8小时)

±2

Y/um@8小时)

±2

测量重复性

X/um(重复上电5次)

±1

Y/um(重复上电5次)

±1

测量精度

X/um

±1

Y/um

±1

量程

X/mm

±1.5

Y/mm

±1.5


        二维PSD传感器需要与本公司的激光器、PSD采集卡搭配使用。

QQ:258506508                                  联系电话:020-000000    000-000000                                  联系邮箱:xxx@.co.m                                  联系地址:XXX省XXX市XXX县XXX路XXX号

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