一）系统简介

威九国际已满18免费威尼斯国际自主研发的光纤双频激光干涉仪系列（OpticalFiber Dual-frequency Laser Interferometer series，FDI）依然是基于双频外差干涉原理，与传统双频激光干涉仪系列不同的是，光纤双频激光干涉仪系列采用光纤进行光路传输，结合了双频外差干涉和光纤传输的优点，在保留了双频干涉的高精度基础上，提高了使用的便捷性，主要应用于精密运动控制、机床测校、精密轴系测校、各类计量标定等领域。

二）系统构成

威九国际已满18免费威尼斯国际开发的光纤双频激光干涉仪由双频干涉控制器、各种光纤双频干涉仪（光纤探针干涉仪、光纤单轴干涉仪、光纤差分干涉仪、光纤三轴干涉仪）、被测反射镜、上位机软件等部分组成，如下图所示。

光纤双频激光干涉仪系统示意图

三）主要特点

主要特点如下：

•支持位移、速度、角度、直线度、平行度、垂直度等测量

•采用外差信号相位解调技术，测量速度和测量分辨率相互独立

•采用双频干涉技术，抗干扰能力强，易进行多轴扩展，测量结果噪声低

•单块数字信号处理器支持完全相互独立的6轴同时测量，并支持多处理器级联

•支持高精度环境误差补偿

四）主要性能

主要技术指标如下：

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