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系统简介-光纤双频激光干涉仪

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一)系统简介

威九国际已满18免费威尼斯国际自主研发的光纤双频激光干涉仪系列(OpticalFiber Dual-frequency Laser Interferometer series,FDI)依然是基于双频外差干涉原理,与传统双频激光干涉仪系列不同的是,光纤双频激光干涉仪系列采用光纤进行光路传输,结合了双频外差干涉和光纤传输的优点,在保留了双频干涉的高精度基础上,提高了使用的便捷性,主要应用于精密运动控制、机床测校、精密轴系测校、各类计量标定等领域。


二)系统构成

威九国际已满18免费威尼斯国际开发的光纤双频激光干涉仪由双频干涉控制器、各种光纤双频干涉仪(光纤探针干涉仪光纤单轴干涉仪光纤差分干涉仪、光纤三轴干涉仪)、被测反射镜、上位机软件等部分组成,如下图所示。

光纤双频激光干涉仪系统示意图


三)主要特点

主要特点如下:

支持位移、速度、角度、直线度、平行度、垂直度等测量

采用外差信号相位解调技术,测量速度和测量分辨率相互独立

采用双频干涉技术,抗干扰能力强,易进行多轴扩展,测量结果噪声低

单块数字信号处理器支持完全相互独立的6轴同时测量,并支持多处理器级联

支持高精度环境误差补偿


四)主要性能

主要技术指标如下:

指标名称参数备注
测量分辨率0.3nm
更高分辨率可定制
最大测量速度4000mm/s更高测量速度可定制
测量范围10m
采样速率10MHz
波长稳定度0.01ppm@1hour
线性测量精度0.1ppm

通讯接口Ethernet/ABZ/BISS/SinCos其它接口可定制


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