在调节双频激光干涉仪光路时，请遵循以下基本流程：

1)      将双频激光器放置在激光器可调底座（如有）上，通电点亮激光器，等待其预热；如预热结束，激光器尾部的“READY” LED指示灯会显示绿色。锁定激光器位置。

2)      将所有导光元件初步固定在导光元件可调底座上，并安装在设计位置；沿着光路顺序，逐个调节导光元件。遇到光路分叉时，请先调节反射光路，然后调节投射光路。调节时请注意以下两点：

a)：旋转激光器出光口的光阑，选择大光斑（6mm或者9mm光斑），依次调整导光元件的横向位置，使光束从导光元件通光孔的中心入射，保证光束不会出现消光现象；

b)：选择小光斑（3mm光斑），依次调节各个导光元件的位置。将一平面镜（前后面平行度较高）紧贴导光元件的反射光出口处，通过调整可调底座的俯仰度和倾斜度，使反射光沿原路返回至激光器出光处，如下图 1‑1。然后锁紧导光元件的位置。

图1‑1 导光元件光路调节示意图

3)      装调完所有的导光元件之后，安装干涉仪。请遵循以下步骤：

a)：确保运动台上的反射镜面与运动轴垂直（运动台的装配工艺保证）；

b)：调节光轴与运动轴平行。初步固定干涉仪，选择小光斑，在运动台的光斑位置做个记号（比如在被测对象上贴纸片，在纸片上光斑照射的位置做个记号），将运动台沿运动方向移动至距干涉仪最近端与最远端，通过调整离干涉仪最近的导光件使得激光束入射到测量镜的位置始终严格保持不变。反复将运动台移动至最近端与最远端，微调导光件位置以达到最佳效果。

c)：微调干涉仪的位置，使干涉仪出光面处测量光斑和参考光斑重合。

d)：切换成大光斑，确认参考光斑和测量光斑重合，且光斑形状完整（不消光）；

e)：安装光纤耦合器；

f)：连接光纤至信号处理卡。

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