双频激光干涉仪系统误差概述

发表时间：2022-02-20 22:01作者：威九国际已满18免费威尼斯国际

双频激光干涉仪的系统误差大致由三部分组成：仪器误差、几何误差（或称之为安装误差）以及环境误差，如表2所示。三种误差中，仪器误差可控制在2nm以下；几何误差可以通过测校进行动态补偿，残差可控制在几纳米以内；环境误差的影响最大，通常可达几十纳米到几微米量级，与测试的环境参数（温度、压力、湿度等）和量程几乎成正比，因此对大量程测量，需要对环境参数进行控制或测量。

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